ハンドリング装置１００の制御部１０１は、ハンドリングユニット１０や上記圧力調整器Ｐ１，Ｐ２及び開閉弁Ｖ１，Ｖ２とともに、各所の駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎ（ｎは２以上の自然数）を制御する。制御部１０１は、上記圧力調整器Ｐ１，Ｐ２に制御信号Ｒｐ１，Ｒｐ２を出力することによって流体の供給圧や排気圧を制御する。また、制御部１０１は、開閉弁Ｖ１，Ｖ２に制御信号Ｒｖ１，Ｒｖ２を出力することによって流体の供給と停止、排気の開始と終了を制御する。さらに、制御部１０１は、上記駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎに設置された位置検出器からの検出信号Ｓｍ１，Ｓｍ２，・・・，Ｓｍｎを受けるとともに、上記駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎに対して制御信号Ｒｍ１，Ｒｍ２，・・・，Ｒｍｎを出力して、それらの作動状態を制御する。なお、上記駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎには、例えば、ハンドリングユニット１０の位置及び姿勢を制御するための、１又は複数のロボットアームの駆動機構などといったユニット駆動系が含まれる。
ハウジング１２は、筒状（図示例では円筒状）の本体１２ａと、この本体１２ａの軸線方向基端側に取り付けられた基端部１２ｂと、本体１２ａの軸線方向先端側に取り付けられた先端部１２ｃとを有する。ハウジング１２の内部にはシリンダ構造１２ｓが設けられ、このシリンダ構造１２ｓの内部に連通する流体供給口１２ｐが上記基端部１２ｂに形成される。図示例では、シリンダ構造１２ｓは、コレット１１の基端部１１ａの外周側から軸線方向基端側に向かう範囲に形成されている。本体１２ａの内面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに内形寸法（図示例では内径）が増大する段差構造である内側段部１２ｅ（第１の段部）が形成される。この内側段部１２ｅは、上記シリンダ構造１２ｓの軸線１０ｘに沿った内面部分（基端側内面部分）と、後述する作動体１３の駆動部１３ｃを背後から支持する支持部１２ｋ（先端側内面部分）との間に形成される。上記内側段部１２ｅよりもさらに軸線方向先端側において、ハウジング１２には、内側へ突出する規制ピン１７が取り付けられている。
この場合において、前記作動体の前記先端側外面部分は前記ハウジングの前記先端側内面部分に外周側から支持された状態で前記作動体の前記駆動部が前記コレットの前記被動部を内周側へ駆動することが望ましい。また、前記作動体の前記基端側外面部分と前記ハウジングの前記基端側内面部分との間に介在するシール部材により、前記作動体の前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面との間が気密に構成されることが望ましい。
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上記制御部１０１は、種々の構成を採ることができる。例えば、ＭＰＵ（マイクロプロセッサユニット）によって実行されるハンドリング装置１００の動作プログラムによって、制御部１０１が各部を制御するように構成してもよい。この動作プログラムは、上記検出信号Ｓｓ、Ｓｃ、Ｓｄ、Ｓｔによってハンドリングユニット１０の状況を把握し、この状況に応じて、圧力調整器Ｐ１，Ｐ２の圧力値、開閉弁Ｖ１、Ｖ２の開閉状態、ユニット駆動系を含む上記駆動部Ｍ１，Ｍ２，・・・，Ｍｎを制御する。上記動作プログラムは、制御部１０１において、以下の各処理を実行する機能実現手段１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄなどを構成する。
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さらに、本実施形態では、コレット１１がハウジング１２内の軸線方向の既定の範囲で移動可能に構成されるため、ハンドリングユニット１０が把持対象物へ向けてアクセスする際において、ハンドリングユニット１０の位置制御不良、把持対象物の配置不良・形状不良などによってフィンガー部１１ｃが外部との間で異常な干渉を生じた場合でも、軸線１０ｘに沿った軸線方向基端側への後退によってコレット１１の損傷を回避することができる。また、その回避動作によっても、上記基準部１１ａと支持面部１３ｂの摺接構造によってコレット１１の軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢は保持されるため、その後の作動精度が低下する虞はない。
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最初に、機能実現手段１００Ａにおける処理内容を説明する。この機能実現手段１００Ａは、流体供給源１０２の供給する流体の流体圧を制御することにより、コレット１１のフィンガー部１１ｃの把持力を制御する手段である。コレット１１のフィンガー部１１ｃによる把持対象物Ｐの把持力は、流体圧が受圧部１３ｄに加わることによって生ずる作動力が作動体１３に加わり、この作動体１３に加わる作動力と、作動ばね１４の弾性復元力との差によって定まる駆動力が駆動部１３ｃから被動部１１ｔに与えられることにより、フィンガー部１１ｃによる把持対象物Ｐの把持力が定まる。このため、上記流体圧を圧力調整器Ｐ１により調整することにより、上記把持力を適宜の値に調整し、設定したり、変化させたりすることができる。流体圧の調整は、制御部１０１の制御信号Ｒｐ１によって行うことができる。このとき、作動体位置検出器Ｓ１の検出信号Ｓｓ、把持態様検出器Ｓ３－Ｓ５の検出信号Ｓｄ、又は、把持対象物検出器Ｓ６の検出信号Ｓｔの少なくともいずれか一つに基づいて、制御部１０１が制御信号Ｒｐ１を設定し、上記流体圧を変化させる。ここで、以下に説明する検出信号Ｓｄの他に、検出信号Ｓｓからは上述のように把持対象物の把持寸法の大小を推定できるので、把持寸法の大小に適した把持力に調整することが可能になる。また、検出信号Ｓｔからは把持対象物の硬さを推定できるので、この硬さに適した把持力に調整することが可能になる。
前記筒体の先端より先端部が突出するように前記筒体の内部に環状隙間を有して収容され、前記筒体に対して一体回転するとともに、軸方向に往復移動しながら、前記筒体の主軸の回転中心線を通る平面上を往復揺動可能な内側の軸体と、
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