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ハウジング12は、筒状(図示例では円筒状)の本体12aと、この本体12aの軸線方向基端側に取り付けられた基端部12bと、本体12aの軸線方向先端側に取り付けられた先端部12cとを有する。ハウジング12の内部にはシリンダ構造12sが設けられ、このシリンダ構造12sの内部に連通する流体供給口12pが上記基端部12bに形成される。図示例では、シリンダ構造12sは、コレット11の基端部11aの外周側から軸線方向基端側に向かう範囲に形成されている。本体12aの内面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに内形寸法(図示例では内径)が増大する段差構造である内側段部12e(第1の段部)が形成される。この内側段部12eは、上記シリンダ構造12sの軸線10xに沿った内面部分(基端側内面部分)と、後述する作動体13の駆動部13cを背後から支持する支持部12k(先端側内面部分)との間に形成される。上記内側段部12eよりもさらに軸線方向先端側において、ハウジング12には、内側へ突出する規制ピン17が取り付けられている。

次に、上記とは別の機能実現手段100Cについて説明する。この機能実現手段100Cは、コレット位置検出器S2、又は、把持態様検出器S3~S5の少なくともいずれか一つの検出結果に基づいて、ハンドリングユニット10の位置及び姿勢(或いは、位置と姿勢の少なくとも一方)を修正する手段である。図10において実線で示すフィンガー部11cの位置F1が把持対象物Pに対する適正な位置であり、このときのハンドリングユニット10は適正な位置及び姿勢にある。一方、上記ユニット駆動系の作動ずれなどにより、フィンガー部11cの軸芯(軸線10x)が把持対象物Pに対して上記の正規の位置F1からずれ、異なる位置F2やF3に配置される場合がある。例えば、位置F2では、複数のフィンガー部11cの軸芯が把持対象物Pの中心からやや図示右側へずれている。このような微妙な位置ずれを検出することは難しいが、例えば、上記の把持態様検出器S3~S5を用いることにより、複数のフィンガー部11cが非把持状態から把持状態へ移行する際に、各フィンガー部11cに対応する弾性変形部11bの変形量が検出信号Sdによって時間的にずれて検出されるため、この時間ずれに対応する位置ずれ量と、各フィンガー部11cの時間の先後に対応するずれ方向とを推定して、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。なお、複数のフィンガー部11cが把持状態となり、把持対象物Pの把持が完了した時点では、コレット11の自動調芯機能により、把持対象物Pの中心はコレット11の軸芯、すなわち軸線10xに整合した状態とされる。

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清·梁章钜《归田琐记·张孟词贡士》:“阮芸台师哭孟词云:‘张孟词志趣高洁,风仪峻朗,博闻元览,颖秀迈伦。’”

本発明において、前記コレットの内部には軸孔が設けられ、該軸孔の内部から軸線方向先端側へ向けての流体の供給、若しくは、軸線方向先端側から前記軸孔を介した流体の排出、を可能とする流体給排口が設けられることが好ましい。ここで、前記流体給排口は、前記ハウジングの基端面に開口することが望ましい。

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前記筒体の前記軸体よりも前記基部側に収容され、前記軸体を先端方向に付勢するコイルばねと、

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特開平11-281649号公報 実用新案登録第2605038号公報 特許文献1に記載の蓋把持装置では、コレットチャックとこれを駆動するソレノイドが軸方向に配列されるため、把持部と駆動系の一体性が低いために全体が大型化するという問題がある。また、コレットチャックを軸方向に作動させることで把持動作を行うため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題もある。

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